在A**L的合作厂商里,台记、三星、Imec、英特尔、东芝、海力士的序列都在前面。
方卓想解决这个问题,最起码,掏钱之后能尽快拿到货吧……但一直没有太合适的解决机会,这就有点让人心急。
尤其,A**L去年成功把首台EUV光刻机NXE:3100交付给了三星,这就更让人心急了。
还有,A**L今年要继续交付给台记,据说还有4台实验性的光刻机将会逐渐交付给其它厂商,这里面依旧没有冰芯,心急基本就到了一个十分高的位置。
根据目前拿到的信息和消息,因为光源功率的提升、透射率的提升和双工作台的新设计,NXE:3100在同样的制程条件下可以把晶圆加工产出量推高至早前的AlphaDemoTool光刻机的20倍左右。
这种提升不可谓不可怖,也由不得有心往前追赶的冰芯不重视。
像这样的EUV光刻机,A**L开出的价格是4400万欧元,之前邱慈云在欧洲谈采购,听到价格连一丝一毫的犹豫也没有就答应下来。
可是,发货真是遥遥无期。
当然,这样的技术应用于量产也需要很久,NXE:3100从A**L发出之后单单组装就需要不少4个月的时间,后续的可靠性测试、量产标准测试更是需要时间。
按照邱慈云提供的分析,即便是台记,这一系列的实验、研究、改进,想真正的导入到量产里至少也是五六年之后的事情,甚至,也不一定就能量产出来。
但冰芯既然致力于往前追赶,就没法忽视这方面的巨大提升,这种台记与A**L联合研究中的技术积累、实际生产经验、生产工艺的运用都必将持续的绽放光彩。
目前是有来自A**L的公开信息,也有业界流传的消息,还有冰芯内部的半猜半蒙,可这确实会带来长远的影响。
方卓心里对这方面就一个感想,烦人。
不是冰芯不想不愿付出,像冰芯与比利时微电子IMEC的关系就一直良好,还从那边引进过制程工艺技术,但A**L主导的与IMEC的EUV光刻机研发专案是明确拒绝了冰芯的加入。
而3年前,台记已经加入这个研发专案工作,进行下一代光刻生产技术的布局。
方卓既有路漫漫其修远兮的感慨,这次也想实地看看到底怎么个事,但这些和邱慈云、梁孟淞聊都比较合适,和虞红、潘犇就只收在心里了。
MWC2011还剩下两天时间,主要的友商已经看完,新奇和跨界的玩意也大略心里有数。
方卓这16和17两天就和斯金格、雅各布、拉里组成了大佬闲逛团,既有面对媒体的时刻,也有对技术前景的讨论。
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