站在一处厂房外，所有人脸上都是带着笑容。

直播镜头前，由阿斯麦的工程师率先开口进行了介绍

“恐怕很多人都没想到，我们会直接放弃原本成熟的duv技术，直接从头开始的研发euv光刻机。”

一边说，他们还围绕着厂房一边走。

“或许从最开始，就没人看好euv光刻机，因为虽然理论上这能达到duv光刻机的十倍分辨率，但实在是太难了，难度太大，需要突破的瓶颈太多，对技术的需求极高，克服的难点数不胜数。”

一边说着他还一边打开了手环，形成了一个三维的全息投影简单的介绍道

“大家都知道光刻机的本质就是曝光，duv光刻机，我们还能找到对应的镜片让深紫外线通过，特别是后来安布雷拉的技术产出的新镜片，更是加强了这一点，安布雷拉自己的光刻机就是利用了这一点弯道超车，在不使用浸润法的情况下超过了我们的效率！”

阿斯麦没有去贬低安布雷拉，甚至还可以说在旁边吹嘘。

因为只有将安布雷拉的强大体现出来，才能说明他们更强！

这是一个强大的对手，但还是输了，输在了我们面前！

“但，这一点对euv光刻机却是不行，我们使用的13.5nm波长极紫外线电离能力极强，没有镜头可以适合这种精度下让这种高能光束通过，所以唯一可以选择的办法，只有反射！”

一边说着，全息图像上也进行了改变，讲解了一下大概的原理。

就是不断利用一些镜片的反射来完成对极紫外线的汇聚。

总共要完成十几次的反射才能达到最后的曝光要求！

本站域名已经更换为www.adouyinxs.com 。请牢记。“这对于反射镜片的精度需求可以说是极高的，要感谢卡尔蔡司公司在这方面的付出。”

说完就对旁边卡尔蔡司的工程师做出了一个请的手势。

卡尔蔡司公司的工程师也顺势站了出来礼貌的说道

“我们同样利用到了安布雷拉的技术涂层，不过当然，就精度方面，我们还是有点自信的……”

随后，阿斯麦的代表又介绍了他们的euv光源。

“之前说了，极紫外线需要通过十几次反射才能达到我们的效果，而因为极紫外线的电离消耗，每次反射都会损失大概30%左右的能量，最终我们能够有效利用的光只有大概2%，因此，我们需要光源有着足够且稳定的输出功率，为了克服这个问题cymer公司可是花费了整整十年的时间来攻克，不过cymer公司在三年前已经被我们公司完成了收购……”

一边说着，他一边继续外放了全息画面，里面连原理都出来了，就是用高能激光不断轰击液态金属滴，难度和精确度看着他提供的数据就让人头皮发麻。 本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第2页/共3页